在半导体产业攻坚“自主可控”的关键战场，江苏相城高新区(元和街道)正书写着“双高协同”的精彩篇章，辖区企业泓浒(苏州)半导体科技有限公司携手河海大学苏州高等研究院攻克的“真空环境超洁净晶圆传送机械臂”项目，打破国外长期垄断，成为“高校智慧+高新区沃土”共育创新成果的典范。
长期以来，真空环境超洁净晶圆传送机械臂作为半导体生产线的“神经中枢”，被日本乐兹、美国布鲁克斯等企业垄断，且列入禁运目录，成为制约我国产业链安全的“痛点”。国产设备曾深陷“拼装国外核心部件”的困境，自主可控迫在眉睫。在此背景下，相城高新区(元和街道)立足产业需求，牵线河海大学苏州高等研究院与泓浒(苏州)半导体科技有限公司深度联动，以产学研融合破题攻坚。
河海大学苏州高等研究院仿生机器人技术团队作为攻坚中的高校核心力量，展现了强劲科研实力。团队负责人徐林森教授带领团队，聚焦真空环境下的超洁净晶圆传送技术难点，创新采用集成化驱动与磁流体密封技术，破解了真空洁净度控制难题；基于国产操作系统构建实时控制系统，实现纳秒级响应精度；研发误差补偿算法，将重复定位精度控制在±0.05mm，水平振动降至0.2g，各项指标达国际先进水平。
为推动技术落地，相城高新区(元和街道)助力河海大学苏州高等研究院与泓浒共建研究生基地，让学生深度参与项目研发，将高校前沿技术直接转化为企业工程方案，实现“实验室成果”到“生产线应用”的无缝衔接。这种“高新区搭台、企业出题、高校解题”的模式，催生出全国产化晶圆真空传送平台，填补了国内真空镀膜工艺传送设备空白。
目前，该设备已导入多家行业标杆企业，在薄膜沉积、刻蚀等关键制程稳定运行，累计销售收入约1300万元，小批量投产稳步推进。团队更牵头编制《真空晶圆搬运机器人验收规范》团体标准，获6项国家发明专利，筑牢技术壁垒。
此次突破，是相城高新区(元和街道)与河海大学苏州高等研究院“双高协同”的生动注脚。未来，这片创新沃土将持续深化校地联动，让“高校智脑”与“高新区动能”同频共振，为半导体产业自主可控注入不竭动力。
扬子晚报/紫牛新闻记者梅方滢
校对潘政
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